用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的制作方法

本发明涉及用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器，更具体地，本发明涉及用于进行蒸汽清洁的这样的一种蒸汽发生器，在该蒸汽发生器中，多个加热棒依次布置在本体板内，并且清洁液加热管线以围绕所述多个加热棒的形式布置在整个本体板中，使得能够提高对流动通过清洁液加热管线的清洁液进行加热的性能并且能够增加流动通过清洁液加热管线的清洁液的加热时间，由此能够提高产生蒸汽的效率。

背景技术：

近来，信息处理设备已快速发展成具有多种功能和更高的处理速度。这种信息处理设备包括用于显示已处理信息的显示面板。随着近来技术的发展，重量轻且占据较小空间的液晶显示器(lcd)等平板显示器已被广泛使用。

在制造平板显示器时，需要进行各种工序。在这些工序中，清洁工序用以去除附着在基底上的诸如颗粒之类的异物。另外，进行清洁工序是为了将诸如薄膜晶体管之类的设备的损耗减至最小并且因而提高生产收率。

在常规的清洁工序中，通过向基底供水或者物理地擦刷基底而将异物从基底上去除。在清洁工序中当擦刷基底时，几十微米的相对较大的颗粒容易从基底上去除，但几纳米的相对较小的颗粒不容易从基底上去除。

当用水清洁基底时，随着基底的尺寸变得较大，清洁工序中会使用大量的水。为了提高清洁基底的效率，高温且高压的水被直接喷射至基底。然而，在清洁工序中在将水喷射至基底的情况下，很难提供用于将清洁大基底所需的这些大量的水加热至高温的加热器。尽管是用水清洁基底，但和擦刷基底的情况一样，小于几微米的细小颗粒也不容易从基底上去除。

为了解决这些问题，韩国专利no.10-0732519(名称为“apparatusandmethodfortreatingsubstrate”)中提出了通过在高温高压下将蒸汽喷射至基底来清洁基底的技术。

在该相关技术中，蒸汽发生器通过用清洁液填充壳体并且然后使用加热器而产生蒸汽。然而，在这种情况下，由于是通过加热填充于壳体中的清洁液而产生蒸汽的，因此产生蒸汽要花费很长的时间、消耗比实际所需更多的能量，并且很难连续不断地产生恒定量的蒸汽。

技术实现要素：

因此，构想了本发明以解决上述问题，并且本发明的一方面在于提供用于进行蒸汽清洁的这样的一种蒸汽发生器，在该蒸汽发生器中，多个加热棒依次布置在本体板内，并且清洁液加热管线以围绕所述多个加热棒的形式布置在整个本体板中，使得能够提高对流动通过清洁液加热管线的清洁液进行加热的性能并且能够增加流动通过清洁液加热管线的清洁液的加热时间，由此能够提高产生蒸汽的效率。

本发明的另一方面在于提供用于进行蒸汽清洁的这样的一种蒸汽发生器，在该蒸汽发生器中，根据本发明的实施方式的清洁液加热管线与本体板的内侧进行表面接触，使得能够改善清洁液加热管线的热传递，由此提高热传递效率。

根据本发明的实施方式，提供了用于进行蒸汽清洁的这样的一种蒸汽发生器，该蒸汽发生器包括：本体板，该本体板由金属制成；多个加热棒，所述多个加热棒沿某一方向插入在本体板中，并且以彼此间隔的方式依次布置；以及清洁液加热管线，该清洁液加热管线围绕所述多个加热棒布置，并且该清洁液加热管线将通过清洁液入口管线引入且在清洁液入口管线中流动的清洁液加热成以蒸汽的形式通过蒸汽出口管线被排出。

本体板可以包括：第一板，该第一板形成有沿某一方向设置的且用于在其中接纳加热棒的插入安装孔；第三板，该第三板与第一板的第一表面进行表面接触，使得清洁液加热管线的一部分能够被插置于第一板与第三板之间；以及第五板，该第五板与第一板的第二表面进行表面接触，使得清洁液加热管线的其余部分能够被插置于第一板与第五板之间。

清洁液加热管线可以包括沿上下方向依次布置的单位管线，每个单位管线可以包括一对第一管线和第二管线，第一管线可以布置在第一板与第三板之间并且横向于所述某一方向，第二管线可以布置在第一板与第五板之间并且横向于所述某一方向，单位管线的第一管线的第一端和第二管线的第一端可以通过水平连接管线彼此连接，单位管线的第一管线的第二端可以通过第一竖向连接管线连接至另一相邻的单位管线的第一管线的第二端，并且单位管线的第二管线的第二端可以通过第二竖向连接管线连接至另一相邻的单位管线的第二管线的第二端。

第一管线可以布置成与形成在第一板的第一表面上的第一表面凹槽和形成在第三板上且面向第一表面凹槽的第三凹槽进行表面接触，并且第二管线可以布置成与形成在第一板的第二表面上的第二表面凹槽和形成在第五板上且面向第二表面凹槽的第五凹槽进行表面接触。

附图说明

根据结合附图进行的对示例性实施方式的以下描述，本发明的上述方面和/或其他方面将变得明显，并且将更容易理解本发明的上述方面和/或其他方面，其中，在附图中：

图1为具有根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的蒸汽清洁系统的示意图；

图2为根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的局部立体图，图3为图2的正视图，图4为图3的示意图；

图5为根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的平面图，图6为图5的示意图；

图7为示出根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的右侧的视图，图8为图7的示意图；

图9为示出根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的左侧的视图，图10为图9的示意图；

图11为根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的局部放大立体图；

图12为具有根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的蒸汽产生模块的立体图；以及

图13为具有根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的蒸汽产生模块的分解立体图。

具体实施方式

关于上述问题、解决方案和效果，下面将参照附图对根据本发明的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的示例性实施方式进行描述。

为了描述清楚方便起见，附图中可以放大元件的尺寸、形状等。另外，考虑到元件的结构和功能而具体定义的术语可以根据用户和操作人员的意向或习惯而改变。

图1为具有根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100的蒸汽清洁系统的示意图。

如图1中所示，具有根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100的蒸汽清洁系统包括用于存储用作清洁液的di的清洁液储箱200、用于将di泵出清洁液储箱200且供给di的清洁液泵300、用于由所供给的di产生蒸汽且供给蒸汽的蒸汽发生器100、以及蒸汽喷射模块400，其用于将由用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100产生且由用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100供给的蒸汽喷射至安置在室中的基底。

用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100基于温度压力控制对供给的清洁液进行加热并且然后通过清洁液的相变而产生蒸汽，由此向蒸汽喷射模块400供给蒸汽。然后，布置在所述室内布置在上侧处的蒸汽喷射模块400将蒸汽喷射至在所述室内以恒定的速度移动的基底，或者蒸汽喷射模块400沿一定方向移动以将蒸汽喷射至静止的基底。

根据本发明的实施方式的用于产生且供给蒸汽的蒸汽发生器100可以将清洁液加热至发生相变以便产生蒸汽。替代性地，可以增设控制装置用以通过周围的阀而控制压力并且引起相变，由此产生蒸汽。

图2至图11中示出了根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100。

如图2至图11中所示，根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100包括本体板10、插入在本体板10中且布置在本体板10内的多个加热棒30、以及围绕所述多个加热棒30布置的清洁液加热管线50，其中，清洁液加热管线50通过由加热棒30传递的热而使在清洁液加热管线50中流动的清洁液被加热，并且因而使其发生相变，以便产生蒸汽。

本体板10指的是形成根据本发明的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的本体的板。本体板10可以由热导率高的金属制成。例如，本体板10可以由与其他金属相比重量相对较轻、便宜且导热性优异的铝制成。

本体板10可以呈各种形状，例如，矩形、圆盘形等各种多边形形状或圆形形状。考虑到所述多个加热棒30的插入布置以及清洁液加热管线的布置，在该实施方式中，本体板10是具有预定厚度的矩形板。

所述多个加热棒30并排地插入并布置在本体板10中。换言之，所述多个加热棒30沿本体板10的某一方向插入并布置，并且加热棒彼此平行且彼此间隔预定距离。简言之，所述多个加热棒30沿本体板10的某一方向插入且以彼此间隔的方式依次布置。

为了将所述多个加热棒30插入并布置在本体板10内，本体板10形成有用以接纳所述多个加热棒30的多个插入安装孔12。具体地，所述多个插入安装孔12形成在第一板11(随后将会描述)中。

如上所述，所述多个加热棒30均沿某一方向(即，沿图3的竖向方向)插入在本体板10中，并且以彼此之间留有预定距离的方式依次并排布置。

所述多个加热棒30可以以距相邻的加热棒等距的方式布置。然而，与本体板10的中部相比，本体板10的边缘处的热损失多且温度低，因此，依次并排布置在本体板10的边缘处的多个加热棒30之间的距离可以与布置在本体板10的中部处的加热棒之间的距离不同。

具体地，图3示出所述多个加热棒30沿水平方向依次等距地布置。然而，布置在两个边缘处的加热棒(例如，图3中示出的二十个加热棒中的左边的五个加热棒和右边的五个加热棒)之间的距离可以比布置在中部处的加热棒(例如，图3中示出的二十个加热棒中除左边的五个加热棒和右边的五个加热棒之外的十个加热棒)之间的距离短。

如上所述，所述多个加热棒30中的布置在边缘处的加热棒之间的间隔比布置在中部处的加热棒之间的间隔窄，由此改善本体板10的在水平方向上的温度均匀性。

顺便提及，所述多个加热棒的布置结构形式不能够改善本体板的在竖向方向上的温度均匀性。因此，通过改变清洁液加热管线50(随后将会描述)的布置结构形式来加强在本体板10的上边缘和下边缘中流动的清洁液的热传递。

所述多个加热棒30中产生的热通过本体板10被传递并且最终被传递至布置在本体板10内的清洁液加热管线50。因此，沿着清洁液加热管线50流动的清洁液被加热并且发生相变。

清洁液加热管线50布置成穿过本体板10的内部并且围绕所有的所述多个加热棒30，因而清洁液加热管线50能够完全接受到由所述多个加热棒30产生的热，从而在整个本体板10中传递的清洁液能够接受足够时间的热并且连续不断地接受来自所有移动部段的热。

清洁液加热管线50围绕所述多个加热棒30布置，使得在清洁液入口管线58中流动的清洁液能够被加热，同时移动并且以蒸汽的形式从蒸汽出口管线59(如图3中所示)排出。

具体地，清洁液加热管线50穿过本体板10布置，使得在清洁液入口管线58中流动的清洁液能够被充分加热而发生相变。

为了通过对沿着清洁液加热管线50移动的清洁液进行加热来产生蒸汽，热必须被充分传递至清洁液。因此，清洁液不仅必须接受足够时间的热，而且还必须连续不断地接受移动部段或移动点处的热。为此，清洁液加热管线50围绕所有的所述多个加热棒30布置。即，清洁液加热管线50布置成与所有的所述多个加热棒30相邻并且围绕所有的所述多个加热棒30缠绕多次。

具体地，清洁液加热管线50布置成贯穿本体板10的整个表面，因而能够增加清洁液的加热时间并且能够均匀连续地接受移动点处的热，由此通过蒸汽出口管线59排放蒸汽。

在上述结构的情况下，将对根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100的元件进行更详细的描述。

出于本体板10易于制造且清洁液加热管线50、加热棒30和本体板10易于维护的目的，本体板10不是由单个本体形成的，而是由多个板形成的，即，第一板11、第三板13和第五板15。

具体地，本体板10包括：第一板，该第一板形成有在某一方向上的用以在其中插入加热棒30的插入安装孔12；第三板13，第三板13与第一板11的第一表面进行表面接触，使得清洁液加热管线50的一部分能够被插置于第一板11与第三板13之间；以及第五板15，第五板15与第一板11的第二表面进行表面接触，使得清洁液加热管线50的其余部分能够被插置于第一板与第五板15之间。

第一板11足够厚而能够在其中插入加热棒30，并且第一板11的插入安装孔12的个数与加热棒30的个数相同且加热棒30相应地插入在第一板11的插入安装孔12中。所述多个加热棒30沿某一方向相应地插入形成在第一板11内插入安装孔12中，并且所述多个加热棒30以可拆卸的方式布置在插入安装孔12中以便进行维护或更换。

第三板13布置成与和位于第一板11的两个侧部之间的一个侧部相对应的第一表面相接触。另外，第三板13布置成使得清洁液加热管线50的一部分——即，清洁液加热管线50的设置在所述多个加热棒30前面的部分(即，图3中示出的清洁液加热管线50)——能够被插置于第三板13与第一板11之间。因此，清洁液加热管线50的一部分(即，设置在所述多个加热棒前面的部分)布置成被插入第一板11与第三板13之间。

为了使清洁液加热管线的一部分(即，设置在所述多个加热棒前面的部分)布置在第一板11与第三板13之间，第一板11的第一表面形成有第一表面凹槽(未示出)，并且第三板13形成有与第一表面凹槽相对应的第三凹槽(未示出)。

因而，当第一板11与第三板13彼此接触时，第一表面凹槽和第三凹槽形成插入通道，使得能够将清洁液加热管线的一部分(即，设置在所述多个加热棒前面的部分)插入在该插入通道中。

参照图2，与清洁液加热管线的一部分(即，设置在所述多个加热棒的前面的部分)相对应的第一管线51被插入在第一板11与第三板13之间。

因而，清洁液加热管线的一部分(即，设置在所述多个加热棒前面的部分)与由第一表面凹槽和第三凹槽这两者形成的插入通道相接触以便实现充分的表面接触，因此，通过第一板11和第三板13传递的热能够被更有效地传递至清洁液加热管线50的一部分(即，设置在所述多个加热棒前面的部分)。

第五板15布置成与和位于第一板11的两个侧部之间的另一侧部相对应的第二表面相接触。另外，第五板15布置成使得清洁液加热管线50的其余部分——即，清洁液加热管线50的设置在所述多个加热棒30的后面的部分(即，图3中未示出的清洁液加热管线50，但在图2中用附图标记“52”表示)——能够被插置于第五板15与第一板11之间。因此，清洁液加热管线50的其余部分(即，设置在所述多个加热棒后面的部分)布置成被插入在第一板11与第五板15之间。

为了使清洁液加热管线的其余部分(即，设置在所述多个加热棒后面的部分)布置在第一板11与第五板15之间，第一板11的第二表面形成有第二表面凹槽(未示出)，并且第五板15形成有与第二表面凹槽相对应的第五凹槽(未示出)。

因而，当第一板11与第五板15彼此接触时，第二表面凹槽和第五凹槽形成插入通道，使得能够将清洁液加热管线的其余部分(即，设置在所述多个加热棒后面的部分)插入在该插入通道中。

参照图2，与清洁液加热管线的其余部分(即，用附图标记“52”表示的设置在所述多个加热棒后面的部分)相对应的第二管线52插入在第一板11与第五板15之间。

因而，清洁液加热管线的其余部分(即，设置在所述多个加热棒后面的部分)与由第二表面凹槽和第五凹槽形成的插入通道相接触以便实现充分的表面接触，因此，通过第一板11和第五板15传递的热能够被更有效地传递至清洁液加热管线的其余部分(即，用附图标记“52”表示的设置在所述多个加热棒后面的部分)。

如上所述，所述多个板被组装成本体板10，并且清洁液加热管线50以各种形式布置在本体板10内。根据本发明的实施方式，清洁液加热管线50布置得尽可能长并且横穿所述多个加热棒，使得在清洁液加热管线中流动的清洁液能够从所述多个加热棒30接受足够时间的热。

为此，清洁液加热管线50包括沿竖向方向依次布置的单位管线53。另外，单位管线53包括第一管线51和第二管线52，第一管线51和第二管线52形成一对。第一管线51沿横向于某一方向(即，横向于插入加热棒的方向或图3中的竖向方向)的方向布置在第一板11与第三板13之间，并且第二管线52沿横向于某一方向(即，横向于插入加热棒的方向或图3中的竖向方向)的方向布置在第一板11与第五板15之间。某一单位管线53中的第一管线51的第一端(即，图3和图5中的左端)与第二管线52的第一端(即，图3和图5中的左端)通过水平连接管线54彼此连接，并且第一管线51的第二端(即，图3和图5中的右端)与另一相邻的单位管线(即，安置于所述某一单位管线上方或下方的单位管线)的第一管线51的第二端通过第一竖向连接管线55彼此连接。另外，所述某一单位管线53的第二管线52的第二端与另一相邻的单位管线(即，安置于所述某一单位管线上方或下方的单位管线)的第二管线52的第二端通过第二竖向连接管线56彼此连接。

单位管线53包括沿水平方向布置的所述一对第一管线51和第二管线52。第一管线51和第二管线52在一个平面上彼此平行。另外，第一管线51布置成面向所述多个加热棒30的一个侧部(即，前侧)，并且第二管线52布置成面向所述多个加热棒30的另一侧部(即，后侧)。因而，第一管线与第二管线彼此相对，从而能够将所述多个加热棒插置于第一管线与第二管线之间。

单位管线53的第一管线51和第二管线52布置成横穿过所述多个加热棒，使得在第一管线51和第二管线52中流动的清洁液能够连续不断地接受热。即，单位管线53不必必须垂直于所述多个加热棒，只要单位管线53横过所述多个加热棒即可。

然而，单位管线53必须沿上下方向(即，竖向方向)依次布置并且彼此连接以便形成清洁液加热管线50，并且考虑到易于制造的问题，多个单位管线需具有相同的长度。因此，该示例性实施方式中的单位管线53布置成垂直地横过所述多个加热棒30。因此，单位管线53的第一管线51和第二管线52垂直于所述多个加热棒30。

在清洁液加热管线50中，单位管线53必须在竖向方向上彼此连接，并且单位管线53的第一管线51和第二管线52必须彼此连通。

首先，第一管线51和第二管线52通过水平连接管线54连接并且因而彼此连通。第一管线51和第二管线52布置在同一平面上，并且通过水平连接管线54连接。水平连接管线54将第一管线的第一端和第二管线的第一端(见图3和图5中的左端)连接。

第一管线和第二管线布置在本体板10内。由于水平连接管线54也被用作清洁液在其中流动的通道，因此水平连接管线54可以插入在本体板10内，以便将热连续不断地传递至清洁液。

然而，可能需要对包括第一管线51和第二管线52的单位管线53进行维护或更换。为此，水平连接管线54可以以可拆卸的方式联接至第一管线51的第一端和第二管线52的第一端并且邻近于本体板10的第一侧部安置在外部处。此处，水平连接管线54必须尽可能短。

由于单位管线53的第一管线51的第一端与第二管线52的第一端通过水平连接管线54连接，因此第一管线的第二端和第二管线的第二端连接至安置于上方或下方的另一单位管线，或者连接至竖向方向上的另一单位管线的第一管线和第二管线，由此形成清洁液加热管线50的连续的路径。

具体地，单位管线53的第一管线51的第二端和第二管线52的第二端通过竖向连接管线57分别连接至在竖向方向上彼此相邻的另一第一管线和另一第二管线。如果单位管线53的第一管线51的第二端连接至布置于上方的另一单位管线的第一管线，那么单位管线53的第二管线52的第二端连接至并非布置于上方而是布置于下方的另一单位管线的第二管线。如此，能够形成从清洁液入口管线58到蒸汽出口管线59的连续的路径。

某一单位管线53的第一管线51的第二端通过第一竖向连接管线55连接至布置在上方(或下方)的另一单位管线53的第一管线的第二端，并且所述某一单位管线53的第二管线52的第二端通过第二竖向连接管线56连接至布置在下方(或上方)的另一单位管线53的第二管线的第二端。因而，使得能够将清洁液加热管线50布置成形成单个连续的连接路径。

通过这种连接结构，在本体板10的整个表面中围绕所述多个加热棒30布置的清洁液加热管线50构造成延伸清洁液的流动路径并且允许清洁液连续不断地接受热。因此，沿着清洁液加热管线移动的清洁液在管线内直接发生相变或者在朝向蒸汽出口管线流动的同时受到温度压力控制而发生相变，从而以蒸汽的形式被供给至蒸汽喷射模块。

为了更有效地将热传递至沿着清洁液加热管线50流动的清洁液，必须增大清洁液加热管线的接触面积。为此，第一管线51布置成与形成在第一板11的第一表面上的第一表面凹槽(未示出)和形成在第三板13上且面向第一表面凹槽的第三凹槽(未示出)这两者进行表面接触，并且第二管线52布置成与形成在第一板11的第二表面上的第二表面凹槽(未示出)和形成在第五板15上且面向第二表面凹槽的第五凹槽(未示出)这两者进行表面接触。

因而，第一管线51插入在由第一表面凹槽和第三凹槽形成的插入通道中，并且因而与第一表面凹槽和第三凹槽进行表面接触，并且第二管线52插入在由第二表面凹槽和第五凹槽形成的插入通道中，并且因而与第二表面凹槽和第五凹槽进行表面接触。因而，能够提高将热传递至清洁液加热管线50的效率。

顺便提及，通过沿竖向方向依次连接多个单位管线53而实现清洁液加热管线50。此处，单位管线53的第一管线51和第二管线52如图3中示出的彼此等距地间隔，使得能够将用于连接单位管线53的竖向连接管线57制造成长度相等。

然而，就本体板10在竖向方向上的温度分布而言，上部部分和下部部分处的温度比上部部分与下部部分之间的中间部分的温度低。因此，如果单位管线在竖向方向上彼此等距间隔开地连接，则布置在本体板的上部部分和下部部分(除中间部分外)中的清洁液加热管线的热传递效率自然低于布置在本体板10的中间部分中的清洁液加热管线的热传递效率。这种竖向方向上的不均衡的热传递使产生蒸汽的效率降低。

对此，竖向地布置在本体板10的上部部分和下部部分中的单位管线之间的竖向间隔比竖向地布置在本体板10的中间部分中的单位管线之间的竖向间隔窄。换言之，与中间部分相比，单位管线在本体板的上部部分和下部部分中布置得更密集。通过该结构，穿过本体板的上部部分和下部部分的清洁液比穿过中间部分的清洁液接受热的时间更长，从而沿着清洁液加热管线流动的清洁液能够持续保持温度。

通过上述结构和操作，可以独立地使用用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100，或者可以将与蒸汽发生器100相应地对应的多个模块密封在壳体中以由此形成蒸汽产生装置。在后一种情况下，用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100在蒸汽产生装置的壳体中操作，从而将产生的蒸汽供给到外部。

为了制造这种蒸汽产生装置，用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100必须被制造为待安装至壳体的模块，即，制造为蒸汽产生模块。

图12示出了稳固地安装有根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的蒸汽产生模块，并且图13为蒸汽产生模块的分解立体图。

如图12和图13中所示，根据本发明的实施方式的用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100可以安装至模块封闭件70。模块封闭件70可以包括封闭件本体71和封闭件盖73。

用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100被容纳在封闭件本体71中且稳固地紧固至封闭件本体71。作为参照，设置在用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100中的加热棒30的上端部分穿过封闭件本体71的顶部并且从封闭件本体71的顶部突出。

另外，封闭件本体71的顶表面形成有加热棒通孔72，使得加热棒30的上端部分能够穿过封闭件本体71的顶部并且从封闭件本体71的顶部突出。如上所述，当封闭件盖73联接至封闭件本体71的上侧部时，从封闭件本体71的顶部突出的加热棒30的上端部分受到保护。

由于用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器100以加热棒30的上端部分穿过封闭件本体71的顶部的方式安装至模块封闭件70并且封闭件本体71的顶部用封闭件盖73覆盖，因此有利的是能够只将加热棒取出进行维护并且能够用新的加热棒更换故障的加热棒而无需拆卸封闭件本体71。

实际上，在用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的元件中，加热棒是最需要进行更换或维护的。顺便提及，如果每次进行维护或更换都要拆卸封闭件本体，那么会浪费地消耗时间、精力和费用。

为了解决这个问题，蒸汽产生模块被制造成使得能够仅对加热棒能够进行容易地更换或分离。当然，清洁液入口管线58和蒸汽出口管线59从封闭件本体向外突出以便引入清洁液并且排放蒸汽。

具有上述结构的蒸汽产生模块被安装至壳体的内部，并且多个蒸汽产生模块(例如，四个蒸汽产生模块)可以组成蒸汽产生装置。蒸汽产生装置指的是多个蒸汽产生模块安装至壳体的内部的结构件。

蒸汽产生装置可以具有位于壳体内的各种传感器以便感测蒸汽产生模块的各种环境、物理数据等并且将感测到的数据输出至外部。

顺便提及，供给至用于进行蒸汽清洁的蒸汽发生器的清洁液可以是功能水以提高清洁效果。例如，清洁液可以比如是臭氧化水、氢水或类似的功能水。如果供给氢水以作为向清洁液入口管线58供给的清洁液，则还需要氢发生器。

氢发生器单独设置在壳体外并且产生氢水。产生的氢水通过给送线被引入到清洁液入口管线中。另外，氢发生器安装至壳体的内部，使得产生的氢水能够通过清洁液入口管线被直接供给。

根据本发明的实施方式，提供了用于进行蒸汽清洁的这样的一种蒸汽发生器，在该蒸汽发生器中，多个加热棒依次布置在本体板内，并且清洁液加热管线以围绕所述多个加热棒的形式布置在整个本体板中，使得能够分别提高对流动通过清洁液加热管线的清洁液进行加热的性能以及增加流动通过清洁液加热管线的清洁液的加热时间，由此能够提高产生蒸汽的效率。

另外，根据本发明的实施方式的清洁液加热管线与本体板的内侧进行表面接触，使得能够改善清洁液加热管线的热传递，由此能够提高热传递效率。

尽管示出并描述了本发明的一些示例性实施方式，但本领域技术人员应当理解的是，在不背离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施方式进行改变，本发明的范围在所附权利要求及其等效方案中限定。